ZMP-2300磁悬浮分子泵
产品特点
• 性能：高气流量、高抽速、低振动、免维护
• 节能：无磨损，较机械轴承产品能耗降低30％
• 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装
外形尺寸
应用领域
半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域
抽速曲线
性能指标
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型号 |
ZMP-2300 |
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N2抽气速率（L/s） |
2300 |
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He抽气速率（L/s） |
1800 |
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最大压缩比（N2） |
107 |
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最大压缩比（He） |
104 |
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极限压强（Pa） |
橡胶密封：2×10-7 金属密封：2×10-8 |
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最大连续出口压强（Pa） |
300 |
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进气口法兰 |
DN250 ISO-F(标配) DN250 CF DN250 ISO-K |
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排气口法兰 |
DN40 KF |
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额定转速（rpm） |
27000 |
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启动时间（min） |
≤8 |
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安装方式 |
任意角度 |
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冷却方式 |
水冷 |
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建议前级泵（L/s） |
≥22 |
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重量（kg） |
55（ISO-K/F） 60（CF） |
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